【組織としての担当業務】
●部のミッション
FPD(Flat Panel Display)露光装置は「史上最大の精密機械」と呼ばれています。ディスプレイには様々な形の最終製品がある中、パネルメーカーの露光装置への要求も高度化・多様化の一途を辿っており、今後も生産量の拡大が見込まれます。第一開発部では顧客ニーズに応える装置の実現のため、大型機械の高速・精密制御を特徴とする機械・電気ハードウェアと制御ソフトウェアの開発を担当しています。

●課の役割
・精密制御のためのモーター制御設計、ハードウェア開発、ソフトウェア開発
・FPGA開発を含む信号処理回路設計
・各ユニットの単独動作およ同期動作のためのシーケンス設計、ソフトウェア開発

【具体的な業務内容】
●担当ユニット
FPD露光装置のStageユニット

●業務内容
制御器の設計/シミュレーション、ハードウェア開発、ソフトウェア開発を総合的に実践し、装置仕様を満たすための精密位置決め制御を実現します。
・新規および既存製品の開発や生産中止対応のため、FPGA開発を含む電気電子回路設計。
・最適な装置動作を実現するため、上位ソフトウェア担当者との仕様協議を含むシーケンス動作の設計、ソフトウェア開発。
・社内評価機でのハードウェア・ソフトウェア検証の実施。
・納入先での新製品立ち上げサポート業務。
・既存製品のトラブル解決のためのサポート業務。